在进入设备之前的系统终端加个过滤器不就好了，然后在过滤器后面取样

ISPE指南（如ISPE-Sampling for Pharmaceutical Water, Steam, and Process Gases-2016和ISPE-Process Gases v2.0-2023）明确建议：对于装有使用点（POU）除菌过滤器的气体管道，取样点应位于无菌过滤器之前。

• 避免在过滤器下游取样引入污染风险（如破坏无菌环境）。
• 过滤器前取样可代表输送到过滤器的气体质量，同时通过过滤器完整性测试间接证明过滤后质量。
• 在高级别洁净区（如A级），过滤器后取样操作不便，可能干扰洁净室运行。

根据你的描述，验证或者日常监测应该按照A级取样。

在CNC区和C级区操作取A级样不好取，有被污染的风险。

以下供参考，具体结合实际情况和厂商讨论解决。

1、可以在滤芯下游增设无菌隔膜阀，取样时用预灭菌软管+气体采样器连接，在层流罩（移动的）下操作（避免环境干扰）。

2、在冻干机氮气入口管路预留无菌取样接口（带RPT隔膜）。

我认为应该在终端过滤器之前取C级样。

不能够代表你实际使用的气体质量。